पॉलिशिंग पैड प्रमुख सहायक उपकरण हैं जो रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग (सीएमपी) प्रक्रिया में वेफर्स की सतह की गुणवत्ता निर्धारित करते हैं। वे मुख्य रूप से पॉलीयुरेथेन फोम जैसी सामग्रियों से बने होते हैं, जिनमें छिद्रपूर्ण सूक्ष्म संरचना और उच्च पहनने का प्रतिरोध होता है। इसके मुख्य कार्यों में दबाव का एक समान स्थानांतरण, पॉलिशिंग तरल पदार्थ का भंडारण और प्रतिक्रिया अवशेषों को हटाना शामिल है। कठोरता को समायोजित करके, क्रमशः वेफर की इन{3}}मोल्ड एकरूपता (डब्ल्यूआईडी) और इन{4}}चिप एकरूपता को अनुकूलित किया जा सकता है। ग्रूव पैटर्न का डिज़ाइन सीधे पॉलिशिंग तरल की वितरण दक्षता को प्रभावित करता है। रेडियल ग्रूव सामग्री हटाने की दर में सुधार करता है, जबकि रिंग ग्रूव सतह फिनिश को अनुकूलित करता है।
पॉलिशिंग पैड का प्रदर्शन 7 मुख्य संकेतकों द्वारा निर्धारित होता है:
1.घनत्व: विरूपण की डिग्री को प्रभावित करता है
2.कठोरता: पीसने की दक्षता को विनियमित करें
3.मोटाई: दबाव की एकरूपता निर्धारित करती है
4.ग्रूव पैटर्न: तरल वितरण को अनुकूलित करें
5. नाली पैरामीटर: चौड़ाई/गहराई भंडारण क्षमता को प्रभावित करती है
6. बाहरी व्यास विनिर्देश: उपकरण के आकार के अनुसार अनुकूलित करने की आवश्यकता है
पॉलीयुरेथेन पॉलिशिंग पैड की संरचना और संरचना
पॉलीयुरेथेन पॉलिशिंग पैड आमतौर पर मुख्य सामग्री के रूप में उच्च प्रदर्शन वाले पॉलीयुरेथेन का उपयोग करते हैं। पॉलीयुरेथेन एक प्रकार का उच्च आणविक बहुलक है जिसमें अच्छी लोच, पहनने के प्रतिरोध और रासायनिक स्थिरता होती है।
इसकी संरचना में आम तौर पर एक पॉलिशिंग परत और एक बैकिंग परत शामिल होती है। पॉलिशिंग परत पॉलिश की गई सामग्री के सीधे संपर्क में होती है और कुशल पॉलिशिंग प्रभाव प्राप्त करने के लिए इसमें उपयुक्त कठोरता, खुरदरापन और सरंध्रता विशेषताओं की आवश्यकता होती है; बैकिंग परत मुख्य रूप से पॉलिशिंग परत को सहारा देने और ठीक करने की भूमिका निभाती है, जबकि पॉलिशिंग दबाव संचारित करने और पॉलिशिंग पैड की समग्र स्थिरता बनाए रखने में मदद करती है।
पॉलीयूरेथेन पॉलिशिंग पैड की प्रदर्शन विशेषताएं
उच्च लोच: यह पॉलिश की गई वस्तु की सतह को बेहतर ढंग से फिट कर सकता है, और यहां तक कि जटिल घुमावदार सतहों को भी समान रूप से पॉलिश किया जा सकता है, जिससे सीएमपी पॉलिशिंग प्रक्रिया के दौरान बहुत बड़ा या बहुत छोटा स्थानीय दबाव कम हो जाता है, जिससे पॉलिशिंग की गुणवत्ता में सुधार होता है।
उच्च पहनने का प्रतिरोध: लंबी अवधि की पॉलिशिंग प्रक्रिया के दौरान, यह अपना आकार और प्रदर्शन बनाए रख सकता है और इसे पहनना आसान नहीं है, जो पॉलिशिंग पैड की सेवा जीवन को बढ़ाता है और उपयोग की लागत को कम करता है।
उच्च समतलता: यह पॉलिश की गई सतह की समतलता सुनिश्चित कर सकता है, जो उच्च परिशुद्धता वाले ऑप्टिकल घटकों, अर्धचालक चिप्स आदि के प्रसंस्करण के लिए आवश्यक है, और इन क्षेत्रों में सतह सटीकता के लिए सख्त आवश्यकताओं को पूरा कर सकता है।
उच्च स्थिरता: विभिन्न पर्यावरणीय परिस्थितियों (जैसे तापमान और आर्द्रता परिवर्तन, आदि) के तहत, पॉलीयूरेथेन पॉलिशिंग पैड अभी भी अपने प्रदर्शन की स्थिरता बनाए रख सकता है और पॉलिशिंग प्रभाव की स्थिरता सुनिश्चित कर सकता है।