चिप निर्माण को आधुनिक उद्योग का मुकुट रत्न कहा जाता है और यह एक उच्च श्रेणी का उद्योग भी है जिस पर चीन ध्यान केंद्रित कर रहा है।
हालाँकि पॉलीयुरेथेन सामग्रियों के अनुप्रयोग क्षेत्र मुख्य रूप से बिल्डिंग इंसुलेशन, फर्नीचर और उपकरण, ऑटोमोबाइल, जूते और कपड़ों जैसे उद्योगों में केंद्रित हैं, चिप निर्माण में भी पॉलीयुरेथेन सामग्रियों की छाया है - जैसे कि सीएमपी पॉलिशिंग पैड।
सीएमपी को रासायनिक पॉलिशिंग और मैकेनिकल पॉलिशिंग के आधार पर विकसित किया गया है, लेकिन साथ ही यह पारंपरिक मैकेनिकल पॉलिशिंग और रासायनिक पॉलिशिंग की कमियों को दूर करता है।
सीएमपी उपकरण में तीन प्रमुख मॉड्यूल शामिल हैं: पॉलिशिंग, सफाई और ट्रांसमिशन। ऑपरेशन के दौरान, पॉलिशिंग हेड रफ पॉलिशिंग पैड के खिलाफ पॉलिश किए जाने वाले वेफर की सतह को दबाता है, और पॉलिशिंग तरल संक्षारण, कण घर्षण, पॉलिशिंग पैड घर्षण इत्यादि की मदद से वैश्विक प्लानराइजेशन प्राप्त करता है।
सीएमपी प्रौद्योगिकी में उपयोग किए जाने वाले उपकरण और उपभोग्य सामग्रियों में शामिल हैं: पॉलिशिंग मशीन, पॉलिशिंग घोल, पॉलिशिंग पैड, पोस्ट-सीएमपी सफाई उपकरण, पॉलिशिंग एंडपॉइंट डिटेक्शन और प्रक्रिया नियंत्रण उपकरण, अपशिष्ट उपचार और परीक्षण उपकरण, आदि।
पॉलिशिंग मशीन, पॉलिशिंग घोल और पॉलिशिंग पैड सीएमपी प्रक्रिया के तीन प्रमुख तत्व हैं। उनका प्रदर्शन और आपसी मिलान सतह की चिकनाई का स्तर निर्धारित करता है जिसे सीएमपी हासिल कर सकता है। पॉलिशिंग प्रक्रिया में, दो सबसे महत्वपूर्ण सामग्रियां पॉलिशिंग तरल पदार्थ और पॉलिशिंग पैड हैं।
सीएमपी पॉलिशिंग पैड में अच्छे संक्षारण प्रतिरोध, हाइड्रोफिलिसिटी और यांत्रिक गुणों का होना आवश्यक है। सबसे आम संकीर्ण, उच्च-पहलू अनुपात वाले खांचे के पैटर्न के साथ कठोर सेलुलर पॉलीयुरेथेन फोम से बने होते हैं। पॉलीयुरेथेन में अच्छा लोच और पहनने का प्रतिरोध होता है, और निरंतर अपघर्षक की कार्रवाई के तहत अपेक्षाकृत स्थिर प्रदर्शन बनाए रख सकता है। साथ ही, पॉलिशिंग प्रक्रिया के दौरान, कठोर फोमयुक्त पॉलीयूरेथेन पॉलिशिंग पैड की सतह पर माइक्रोप्रोर्स (यांत्रिक गुण और छिद्रपूर्ण पानी-अवशोषित गुण) पॉलिशिंग पैड की सतह को नरम और खुरदरा कर सकते हैं, और घर्षण कणों को इसमें रख सकते हैं चमकाने वाला तरल पदार्थ.
ये माइक्रोप्रोर्स प्रसंस्करण निष्कासन सामग्री भी एकत्र कर सकते हैं, पॉलिशिंग तरल पदार्थ का परिवहन कर सकते हैं और रासायनिक संक्षारण सुनिश्चित कर सकते हैं, जो पॉलिशिंग एकरूपता और पॉलिशिंग दक्षता में सुधार के लिए फायदेमंद है।
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